·选择好需要扫描的区域，适当调整焦距。
选择EDS，打开能谱软件，该对话点击关闭。
这个数值越高处理信号儿的能力就越强，需要的时间就就越短。
·点击此处进入界面，然后再点击此处扫描图像。
扫描图像后点击此处选择合适的对比度和亮度。
现在点击此处进入面扫界面，后面分别是点扫和线扫界面。
·点击采集分布数据，现在即可显示扫描结果。
现在等待扫描区域结果，此处数值越高扫描速度越快。
待扫描区域充满此处窗口，屏幕下面显示扫描的结果。
如果有不需要的元素可以点击隐去。
·点击此处可自动获取样品中所有元素，若需要显示再次点击此处即可恢复。
检测结束后点击停止采集即可。
·若是要点扫点击此处，此处可选择点扫的种类，然后拖动框选需要点扫的区域，待此处进度条完成采集完成。
·点击此处可进入图谱界面，其余操作和面扫操作一致。
可参考前面的面扫操作流程。
→如需要线扫点击此处，然后选择需要线扫的区域。
→点击采集线扫描区域，右击鼠标后重置刻度。
点击右上角此处可以全屏显示线扫数据，线扫的其余操作和前面相同。
·现在返回面扫界面保存报告，可以点击此处选择自己所需的报告种类。
鼠标停留后会有报个种类说明。
然后点击另存为，可自行建立一个保存目录，面扫的报告就保存好了。
·选择线扫，保存报告和面扫一致。
如果想在报告中添加线总图谱，可选中此处，点击另存为后面的剪头选择追加。
报告后面即可生成追加的图谱内容。
·选择点扫界面保存报告。
操作流程和前面一致。
ZEPTOOLS。