一、XPS简介X射线光电子能谱分析(X-ray photoelectron spectroscopy, XPS)是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。
被光子激发出来的电子称为光电子，可以测量光电子的能量，以光电子的动能为横坐标，相对强度(脉冲/s)为纵坐标可做出光电子能谱图，从而获得待测物组成。
XPS被广泛应用于分析无机化合物、合金、半导体等。
Avantage是一款专业的XPS数据处理软件，这里我们将介绍该软件的基本操作：数据的寻峰、积分与校正。
二、操作步骤（1）寻峰打开软件，点击“File”选择“Open”或直接“CTRL”+“O”，选择原始数据图并导入如图1所示，首先进行全谱分析，点击survey所在框并点击“❓”，显示结果如图2所示。
图中红框中从左到右依次所指的为：名称、峰的位置、半峰宽、面积绝对值和原子百分比。
图1图2若还想获取更多信息，可以在图2红框内点击右键，择“Properties”然后进行选择。
如图3所示。
图3若怀疑图谱中存在未找出来的元素，可双击“A”打开，点击 “ID”，如图4可对其进行标峰，在周期表中点击你认为可能存在的元素，比如2p轨道的磷，点击元素周期表中的P，则在图谱中便会出现P的峰，如图5。
最后点击“Add Peaks”便可将该元素加入表中，并在图谱标注。
图4图5（2）积分前面所讲为用全谱来定量元素，误差较大，结果不精确。
可用测量每个精细谱的面积来代替全谱算出来的数值。
图中测量了C、Ca、O和Si的精细谱，则在表中将这四种元素的√去掉，如图6所示，然后用精细谱的面积来代替，如选中B，点击将两条积分线移至所积的峰的两侧，点击“Add”，然后同样操作进行剩余的峰，这样我们便完成了利用精细谱代替全谱面积的操作，如图7所示。
图6图7（3）校正积分完成之后，我们需要对谱图进行校正，校正一般用C元素来矫正，首先对C元素进行标峰。
选中C所在图谱，点击然后点击“Add Fitted Peak”，图8中三线表示系统认为该处存在峰，然后点击“Add Single Peak”，再出现则继续点击。
图8注意图谱中一般不会出现包峰的情况，此时我们需要关闭标峰，点击“PeakFit”在表中查询包峰所表示的峰，并点击右键选择删除此峰。
然后重新拟合，如图9和10所示。
图9图10图11完成之后可以发现，此谱图中存在三个峰，此时需将最接284.8的峰校正到284.8。
则需要添加0.46，首先点击图谱区域左上角全选图谱，点击输入0.46并勾选左下角以避免系统对其四舍五入。
最后点击接受，则将会对所有谱图进行校准。
图12图13至此，关于使用Avantage处理XPS数据的方法大致交代完了。